式田 光宏


結晶異方性エッチング解析システムMICROCAD の開発
佐藤 一雄 浅海 和雄 小林 元 入江 康郎 式田 光宏 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/03/25
Vol. J82-C2  No. 3  pp. 84-91
論文種別:  特集論文 (マイクロマシン関連技術論文小特集)
専門分野: 
キーワード: 
結晶異方性エッチングエッチング速度データベースシミュレーションCAD
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