小松 五郎


流体式角速度センサにおける流路精度の解析
斎藤 和敬 小松 五郎 加藤 清 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2001/07/01
Vol. J84-C  No. 7  pp. 599-604
論文種別:  論文
専門分野: 機構デバイス
キーワード: 
結晶異方性エッチング角速度センサシミュレーションマイクロマシン
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