小嶋 幹男


精密カッティング工具のための新しい光学的測定法
小嶋 幹男 久恒 正希 水野 英明 北島 博愛 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/12/25
Vol. J76-C1  No. 12  pp. 553-556
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
精密ダイヤモンド工具超精密旋盤光センサ光重心点変位カッティングエッジ
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細線反射鏡の高感度微少変位センサへの応用
小嶋 幹男 久恒 正希 水野 英明 北島 博愛 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/08/25
Vol. J76-C1  No. 8  pp. 321-324
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
円筒反射鏡光路長光重心点高分解能変位センサ
 あらまし | 本文:PDF(233.2KB)

双方向光点変位形表面形状センサ
村上 拓大 小嶋 幹男 北島 博愛 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/10/25
Vol. J75-C1  No. 10  pp. 669-671
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
表面形状センサ外乱除去形形状センサ光点変位形センサ光応用センサ
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